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材料加工設備

飛秒激光沉積系統

2017-01-07  點擊:[]

飛秒激光沉積系統

來源 未知 更新 2017-01-07 14:28

英文名稱:Plasma Deposition System for Femtosecond Laser

型號及規格:PLD-450B

生產廠商:中國 中科院沈陽科儀公司

設備主要功能及性能簡介

該飛秒激光沉積系統通過機械泵和分子泵進行抽真空,將腔室的氣壓降低,從而進行真空環境中的飛秒激光鍍膜實驗。

沉積室極限真空度:≤8.0×10-7 Pa;系統真空檢漏率:≤5.0×10-7 Pa·L/S;進樣室極限真空:≤5.0×10-4 Pa;抽真空速度:20 min內可從大氣壓強降至5.0×10-3 Pa。

設備應用及項目支撐情況

該系統主要用于機械工程類各專業的本科生、研究生的教學、以及智能激光制造湖南省重點實驗室項目研究使用。目前,該系統主要用于真空條件下飛秒激光鍍膜,真空條件下飛秒激光誘導光譜探測等研究。

主要的項目支撐有:激光制造前沿科技創新平臺(531109010035),并承擔了多項與企業合作的橫向課題。


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