飛秒激光沉積系統
來源 未知 更新 2017-01-07 14:28
英文名稱:Plasma Deposition System for Femtosecond Laser
型號及規格:PLD-450B
生產廠商:中國 中科院沈陽科儀公司
該飛秒激光沉積系統通過機械泵和分子泵進行抽真空,將腔室的氣壓降低,從而進行真空環境中的飛秒激光鍍膜實驗。
沉積室極限真空度:≤8.0×10-7 Pa;系統真空檢漏率:≤5.0×10-7 Pa·L/S;進樣室極限真空:≤5.0×10-4 Pa;抽真空速度:20 min內可從大氣壓強降至5.0×10-3 Pa。
該系統主要用于機械工程類各專業的本科生、研究生的教學、以及智能激光制造湖南省重點實驗室項目研究使用。目前,該系統主要用于真空條件下飛秒激光鍍膜,真空條件下飛秒激光誘導光譜探測等研究。
主要的項目支撐有:激光制造前沿科技創新平臺(531109010035),并承擔了多項與企業合作的橫向課題。